**Данные блоки поддерживают скрол
**Данные блоки поддерживают скрол вверх/вниз
Нанотехнологии и наноматериалы
Формирование функциональных слоев
АвторыЮ. В. Панфилов
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Год издания2020
Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микроинаноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. <br>Для студентов, обучающихся по направлениям "Наноинженерия" и "Электроника и наноэлектроника". ...
Загружено
2021-10-01
Панель управления
Читайте книги в приложении Консутльтант Студента на iOS, Android или Windows