Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций
Тема 5. Микро- и нанотехнологии получения и травления многокомпонентных пленочных гетерокомпозиций
Предыдущая страница
Следующая страница
Оглавление
Предисловие
Тема 1. Принципы построения наноразмерных гетероструктур
+
Тема 2. Молекулярно-пучковая технология создания полупроводниковых наноструктур
+
Тема 3. Синтез сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов
+
Тема 4. Получение пленочных материалов с использованием химических соединений
+
Тема 5. Микро- и нанотехнологии получения и травления многокомпонентных пленочных гетерокомпозиций
-
5.1. Формирование пленок нитридов ионно-лучевым распылением
5.2. Получение пленок карбида кремния и его твердых растворов
5.3. Ионно-плазменное травление нитридов элементов третьей группы
5.4. Наноразмерное ионно-лучевое травление остросфокусированным ионным пучком
5.5. Электронно-эмиссионный контроль процесса ионно-лучевого травления
5.6. Изготовление микрообъектов
Контрольные вопросы
Тема 6. Наносистемы и приборы на их основе
+
Библиографический список
Данный блок поддерживает скрол*