Поиск

Закладки

Озвучивание недоступно

Озвучить книгу

Изменить режим чтения

Изменить размер шрифта

Оглавление

Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Ионно-плазменная обработка материалов

Тема 4. Возможности ионно-плазменных процессов для создания элементов микро - и наноэлектроники

Предыдущая страница

Следующая страница

Оглавление

Тема 1. Вакуум-плазменные процессы травления материалов +

Тема 2. Вакуум -плазменное нанесение тонких пленок +

Тема 3. Ионный синтез и ионная кристаллизация +

Тема 4. Возможности ионно-плазменных процессов для создания элементов микро - и наноэлектроники -

4.1. Получение слоисто-однородных структур

4.2. Получение гетероструктур с внутренней топологией (танталовая технология)

Заключение
Библиографический список

Данный блок поддерживает скрол*