Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Современное технологическое оборудование для микроэлектроники
ГЛАВА 4. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ СЛОЕВ
Предыдущая страница
Следующая страница
Оглавление
ПРИНЯТЫЕ СОКРАЩЕНИЯ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ
+
ГЛАВА 2. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ
+
ГЛАВА 3. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПЛАСТИН В ПЛАЗМЕ
+
ГЛАВА 4. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ СЛОЕВ
-
4.1. Горизонтальная диффузионная печь SVFUR-FP
4.2. Модульная вертикальная печь A400XT
4.3. Стационарный одноканальный измеритель микровлажности газов (гигрометр) ИВГ-1-С-2А
4.4. Установка осаждения диэлектрических слоев "Изоплаз-150"
4.5. Установка термокомпрессионного окисления в парах воды "Термоком-М"
4.6. Установка осаждения слоев нитрида кремния и поликристаллического кремния "Изотрон 4-150"
ГЛАВА 5. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ СБОРКИ И ЗАКЛЮЧИТЕЛЬНЫХ ОПЕРАЦИЙ ПРОИЗВОДСТВА ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
+
ЛИТЕРАТУРА
Данный блок поддерживает скрол*