11.1. "НаноФаб-100" - платформа для наноэлектроники
11.2. Установка эпитаксильного наращивания слоев для индивидуальной обработки подложек большого диаметра
Если Вы наш подписчик,то для того чтобы скопировать текст этой страницы в свой конспект,
используйте
просмотр в виде pdf. Вам доступно 2 стр. из этой главы.