Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Наноэлектроника, нанофотоника и микросистемная техника
4. МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА
Предыдущая страница
Следующая страница
Оглавление
ВВЕДЕНИЕ
1. НАНОЭЛЕКТРОНИКА
+
2. НАНОФОТОНИКА
+
3. НАНОТЕХНОЛОГИИ В ЭНЕРГЕТИКЕ
+
4. МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА
-
4.1. Микроэлектромеханические системы
4.1.1. Общие сведения о МЭМС и НЭМС
4.1.2. История развития МЭМС
4.1.3. Технология изготовления МЭМС-устройств
4.1.4. Конструкции МЭМС-устройств и их принципы действия
4.2. Наноэлектромеханические системы
4.2.1. Наноактюаторы
4.2.2. Наносенсоры
Контрольные вопросы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
Данный блок поддерживает скрол*