Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Глава 2. Процесс реактивного магнетронного распыления со среднечастотным источником питания магнетрона
Поставить закладку
2.1. Устранение причин пробоев на катоде магнетрона с помощью импульсного СЧ ИП
Для продолжения работы требуется
Регистрация
Предыдущая страница
Следующая страница
Оглавление
Предисловие
Введение
Глава 1. Пробои на катоде магнетрона
+
Глава 2. Процесс реактивного магнетронного распыления со среднечастотным источником питания магнетрона
-
2.1. Устранение причин пробоев на катоде магнетрона с помощью импульсного СЧ ИП
2.2. Процессы в плазме среднечастотного разряда
2.3. Влияние параметров СЧ импульсов на скорость и механизм осаждения пленки
2.4. Работа ИП при возникновении дуги
2.5. Решение проблемы "исчезающего анода" при реактивном магнетронном разряде
Литература
Глава 3. Процессы в плазме у поверхности растущей пленки
+
Глава 4. Особенности реактивного магнетронного распыления
+
Глава 5. Получение пленок тройных и более сложных химических соединений
+
Глава 6. Структура тонких пленок и способы управления ею
+
Глава 7. Способы равномерного нанесения пленки из протяженного магнетронного источника
+
Глава 8. Основы моделирования реактивного разряда
+
Глава 9. Вакуумные напылительные установки фирмы ООО "ЭСТО-Вакуум"
+
Глава 10. ТСР источники плазмы
Глава 11. Вакуумные установки для ионного и плазмохимического травления фирмы ООО "ЭСТО-Вакуум"
+
Глава 12. Применения установок плазмохимического травления с устройствами ТСР разряда
+
Глава 13. Установка Caroline PECVD 15 для плазмостимулированного химического осаждения из паров (PECVD) с применением ТСР источника
+
Глава 14. Рекомендации по комплектации вакуумных участков для производства различных изделий электронной техники вакуумно-технологическим оборудованием фирмы "ЭСТО-Вакуум"
+
Приложение Общепринятые в иностранной литературе сокращения
Данный блок поддерживает скрол*