Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
Глава 2. Параметры плазмы и закономерности образования и гибели активных частиц при разряде в хлоре
Предыдущая страница
Следующая страница
Оглавление
Введение
+
Глава 1. Методические вопросы исследования параметров плазмы и гетерогенных плазменных процессов
+
Глава 2. Параметры плазмы и закономерности образования и гибели активных частиц при разряде в хлоре
-
§ 2.1. Кинетическая схема процессов в плазме хлора
§ 2.2. Сечения процессов под действием электронного удара
§ 2.3. Результаты экспериментального исследования ННГП в хлоре. Электрофизические параметры плазмы
§ 2.4. Кинетика образования и гибели нейтральных частиц. Стационарный массовый состав нейтральной компоненты газовой фазы
§ 2.5. Кинетика образования и гибели заряженных частиц. Массовый состав ионной компоненты газовой фазы
§ 2.6. Излучение разряда в хлоре
§ 2.7. Потоки активных частиц на поверхность и механизмы травления в хлорной плазме
Заключение
Литература
Глава 3. Механизмы образования и гибели активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N2, H2 и O2
+
Глава 4. Кинетика и механизмы травления Cu, GaAs и Si в плазме хлора и его смесей с Ar, N2, H2 и O2
+
Данный блок поддерживает скрол*