Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
Глава 1. Методические вопросы исследования параметров плазмы и гетерогенных плазменных процессов
Поставить закладку
§ 1.1. Общая характеристика экспериментальных установок и оборудования
Для продолжения работы требуется
Регистрация
Предыдущая страница
Следующая страница
Оглавление
Введение
+
Глава 1. Методические вопросы исследования параметров плазмы и гетерогенных плазменных процессов
-
§ 1.1. Общая характеристика экспериментальных установок и оборудования
§ 1.2. Получение газов и приготовление газовых смесей
§ 1.3. Определение температуры нейтральных невозбужденных частиц
§ 1.4. Определение приведенной напряженности электрического поля
§ 1.5. Измерение концентраций нейтральных невозбужденных частиц
§ 1.6. Измерение плотности потока положительных ионов на стенку реактора
§ 1.7. Объекты исследования и измерение скоростей травления
§ 1.8. Моделирование плазмы
§ 1.9. Гетерогенные процессы травления в условиях ННГП: основные понятия и подходы к анализу
Литература
Глава 2. Параметры плазмы и закономерности образования и гибели активных частиц при разряде в хлоре
+
Глава 3. Механизмы образования и гибели активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N2, H2 и O2
+
Глава 4. Кинетика и механизмы травления Cu, GaAs и Si в плазме хлора и его смесей с Ar, N2, H2 и O2
+
Данный блок поддерживает скрол*