Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
Введение
Предыдущая страница
Следующая страница
Оглавление
Введение
-
Литература
Глава 1. Методические вопросы исследования параметров плазмы и гетерогенных плазменных процессов
+
Глава 2. Параметры плазмы и закономерности образования и гибели активных частиц при разряде в хлоре
+
Глава 3. Механизмы образования и гибели активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N2, H2 и O2
+
Глава 4. Кинетика и механизмы травления Cu, GaAs и Si в плазме хлора и его смесей с Ar, N2, H2 и O2
+
Данный блок поддерживает скрол*