Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Основы математического моделирования
2. Математическое моделирование процесса ионной имплантации
Предыдущая страница
Следующая страница
Оглавление
Введение
1. Математическое моделирование диффузионных процессов
+
2. Математическое моделирование процесса ионной имплантации
-
2.1. Механизмы торможения ионов в твердых телах
2.2. Расчеты пробегов ионов в твердых телах. Диффузионное приближение
2.3. Пробеги ионов в кристаллах. Каналирование
2.4. Моделирование распределения ионов в твердых телах
2.5. Двухмерное распределение ионов в твердых телах
2.6. Моделирование формирования дефектов в процессе ионной имплантации
2.7. Моделирование пробегов методом Монте-Карло
2.8. Метод интегрирования кинетического уравнения Больцмана
3. Математическое моделирование термического окисления кремния
+
4. Математическое моделирование импульсного отжига
+
Библиографический список
Данный блок поддерживает скрол*