Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники
Библиографический список
Поставить закладку
Для продолжения работы требуется
Регистрация
Предыдущая страница
Следующая страница
Оглавление
Введение
Дополнительная зарубежная и отечественная литература по технологиям и маршрутам ИМС
Глава 1. Общие вопросы ХОГФ ТП применительно к ИМС
Глава 2. Тонкие пленки нитрида кремния
Глава 3. Тонкие пленки диоксида кремния
Глава 4. Тонкие пленки силикатных стекол
Глава 5. Анализ патентов по тематике ТП для технологий ИМС
Библиографический список
Данный блок поддерживает скрол*