Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники
Глава 1. Основные тенденции развития методов ХОГФ тонких пленок из газовой фазы
Предыдущая страница
Следующая страница
Оглавление
Введение
Глава 1. Основные тенденции развития методов ХОГФ тонких пленок из газовой фазы
-
Заключение по главе 1
Вопросы для самопроверки по главе 1
Дополнительная литература к главе 1
Глава 2. Общая характеристика методов ХОГФ
+
Глава 3. Параметры аппаратуры и процессов ХОГФ
+
Глава 4. Методология и исследования кинетики роста тонких пленок при ХОГФ
+
Глава 5. Обобщения и практические рекомендации для решения технологических задач
+
Библиографический список
Данный блок поддерживает скрол*