Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Процессы и оборудование микротехнологии: Модули 1 и 2
Модуль 1. Технологический анализ изделий микротехнологии
Предыдущая страница
Следующая страница
Оглавление
Предисловие
Введение
Модуль 1. Технологический анализ изделий микротехнологии
-
1.1. Интегральные микросхемы как объект производства
1.1.1. Структура и принцип действия КМОП-микросхем
1.1.2. Технология КМОП-микросхем
1.2. Особенности производства микроэлектромеханических систем
1.2.1. Принцип действия и структура микродатчика давления
1.2.2. Технические характеристики микродатчика давления
1.2.3. Технология изготовления чувствительного элемента
1.2.4. Монтаж кремниевого чувствительного элемента на стеклянное основание
Заключение
Задания для самостоятельной работы и самоконтроля
Ресурсы сети Интернет к модулю 1
Приложения к модулю 1
Приложение 1. Параметры металлических межсоединений
Приложение 2. Особенности формирования медных межсоединений
Приложение 3. Диэлектрические свойства материалов микротехнологии
Приложение 4. Тензо- и пьезоэффект в кремнии
Модуль 2. Изготовление монокристаллических кремниевых пластин
+
Данный блок поддерживает скрол*