Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Основы конструирования вакуумных плазменных установок
2. Вакуумные насосы
Поставить закладку
Если Вы наш подписчик,то для того чтобы скопировать текст этой страницы в свой конспект,
используйте
просмотр в виде pdf
. Вам доступно 5 стр. из этой главы.
Для продолжения работы требуется
Регистрация
Предыдущая страница
Следующая страница
Оглавление
Введение
1. Основные понятия вакуумной техники: быстрота откачки, быстрота действия, сопротивление и проводимость трубопровода
+
2. Вакуумные насосы
-
2.1. Роторно-пластинчатый насос
2.2. Спиральный насос
2.3. Мембранный (диафрагменный) насос
2.4. Насос Рутса
2.5. Диффузионный насос
2.6. Турбомолекулярный насос
2.7. Криогенный насос
3. Потоки нейтральных и заряженных частиц в плазменном PVD-процессе
+
4. Откачка вакуумных систем
Литература
Данный блок поддерживает скрол*