Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра
2. Особенности описания и основные группы геометрических параметров пластин
Предыдущая страница
Следующая страница
Оглавление
Введение
1. Требования к полированным пластинам монокристаллического кремния
2. Особенности описания и основные группы геометрических параметров пластин
-
2.1. Геометрический рельеф поверхности пластины в прижатом состоянии
2.2. Толщина и однородность распределения толщины по площади пластины
2.3. Геометрическая форма пластины в свободном состоянии и рельеф поверхности
2.4. Доля годной поверхности
3. Новое в технологии обработки кремниевых пластин
4. Требования к пластинам из сапфира
5. Экономическая целесообразность перехода к пластинам больших диаметров
Данный блок поддерживает скрол*