Поиск
Закладки
Озвучивание недоступно Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Микромеханические приборы: учебное пособие.

Глава 5. ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ

Предыдущая страница

Следующая страница

Глава 5. ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ
На предыдущую главу Предыдущая глава
оглавление
Следующая глава На следующую главу

Оглавление

Глава 5. ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ-
5.1. Микроакселерометры прямого преобразования
5.1.1. Осевой микроакселерометр
5.1.2. Маятниковый микроакселерометр
5.2. Микроакселерометры компенсационного преобразования
5.2.1. Микроакселерометр с электростатической обратной связью
5.2.2. Микроакселерометр с магнитоэлектрической обратной связью
5.3. Коррекция частотных характеристик
5.4. Ошибки измерения микроакселерометрами
5.5. Микродатчик давления прямого преобразования
5.6. Микродатчики давления компенсационного преобразования
5.6.1. Микродатчик давления с электростатической обратной связью
5.6.2. Микродатчик давления с магнитоэлектрической обратной связью
5.7. Формирование выходных сигналов микрогироскопов
5.7.1. Прямое преобразование
А. Микрогироскопы LR- и LL-типов
Б. Микрогироскопы RR-типа
5.7.2. Компенсационное преобразование
5.8. Зависимость измерительных свойств МГ от конструктивных параметров и внешних возмущений
5.8.1. Масштабный коэффициент и частотная настройка
5.8.2. Зависимость частот, расстройки частот и масштабных коэффициентов от изменения геометрических размеров ротора и упругих элементов подвеса
5.8.3. Влияние линейной и угловой вибрации основания
5.8.4. Влияние ориентации упругих элементов подвеса на пластине монокристал лического кремния
5.9. Шум в микромеханических приборах
5.9.1. Происхождение теплового шума
5.9.2. Происхождение механического шума
5.9.3. Механический шум микроакселерометров и микродатчиков давления
5.9.4. Механический шум микрогироскопов
Темы для самоконтроля
Данный блок поддерживает скрол*