С. И. Голоудина, В. М. Пасюта, В. В. Кудрявцев, В. П. Склизкова. Синтез и применение наноразмерных пленок полиимида для создания микромеханических и газочувствительных сенсоров
Если Вы наш подписчик,то для того чтобы скопировать текст этой страницы в свой конспект,
используйте
просмотр в виде pdf. Вам доступно 20 стр. из этой главы.