Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Ионно-плазменная обработка материалов: Курс лекций
Тема 2. Вакуум-плазменное нанесение тонких пленок
Предыдущая страница
Следующая страница
Оглавление
Тема 1. Вакуум-плазменные процессы травления материалов
+
Тема 2. Вакуум-плазменное нанесение тонких пленок
-
2.1. Характеристика и этапы процесса ионно-плазменного нанесения слоев
2.2. Реактивное ионно-лучевое нанесение материалов
2.3. Энергетические особенности ионно-стимулируемого нанесения пленок
2.4. Структурообразование в пленках при ионно-плазменном нанесении пленок
Тема 3. Ионный синтез и ионная кристаллизация
+
Тема 4. Возможности ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники
+
Заключение
Библиографический список
Данный блок поддерживает скрол*