Методы литографии в наноинженерии. Кн. 9
АвторыМакарчук В.В., Родионов И.А., Цветков Ю.Б.
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Год издания2011
Методические материалы по дисциплине "Методы литографии в наноинженерии" содержат ее нормативную базу, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы, необходимые для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. <br>Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки "Нанотехнология" с профилем подготовки "Наноинженерия". Будут полезны всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения. ...
Загружено
2019-09-04