Физические основы микро- и нанотехнологий
АвторыС.П. Бычков, В.П. Михайлов, Ю.В. Панфилов, Ю.Б. Цветков
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Год издания2009
Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности "Электронное машиностроение". ...
Загружено
2015-02-28