Формирование гетероструктур наноприборов методом молекулярно-лучевой эпитаксии
АвторыВ.Д. Шашурин, К.В. Малышев, С.А. Мешков, Е.А. Скороходов,
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Год издания2009
Настоящее издание соответствует учебной программе курса "Специальные технологические методы в нанотехнологии". Рассматриваются методы выращивания 2D-наноструктур (нанослоев), 1D-наноструктур (нанонитей) и 0D-наноструктур (наночастиц) с помощью молекулярно)лучевой эпитаксии для их применения в наноприборах радиоэлектронных систем. Для студентов 6-го курса приборостроительных специальностей. ...
Загружено
2015-05-14