АвторыНарайкин О. С.
Введение в микросистемную технику
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Тип изданияучебное пособие
Год издания2011
Скопировать биб. запись
Для каталогаНарайкин, О. С. Введение в микросистемную технику : учебное пособие / О. С. Нарайкин, К. Г. Потловский, В. В. Холевин. - Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 49 с. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/bauman_0489.html (дата обращения: 22.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияМикросистемная техника - активно развивающееся направление, создающее функционально законченные нано& и микроразмерные устройства, характеристики которых кардинальным образом отличаются от характеристик устройств аналогичного назначения, созданных по традиционным технологиям. Учебное пособие содержит сведения о физических принципах функционирования электромеханических систем и об основных технологиях их производства. Приведены примеры использования микроэлектромеханических систем в различной аппаратуре как бытового, так и специального назначения. Для студентов, изучающих курс "Микросистемная техника".