АвторыО.С. Нарайкин, В.В. Холевин, И.И. Данилов, В.А. Шалаев
Технология микросистемной техники. Методы микрообработки
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Тип изданияучебное пособие
Год издания2010
Скопировать биб. запись
Для каталогаНарайкин, О. С. Технология микросистемной техники. Ч. 1. Методы микрообработки : учебное пособие / О. С. Нарайкин, В. В. Холевин, И. И. Данилов, В. А. Шалаев. - Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2010. - 36 с. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/bauman_0467.html (дата обращения: 02.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияРассмотрены современные методы микрообработки, применяемые в технологии изготовления микросистем: объемная микрообработка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приведены сведения о материалах, применяемых в микросистемной технике, и о методах соединения слоев микросистем. Для студентов 5-6-го курсов приборостроительных специальностей.