Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

АвторыКузнецов Г.Д., Курочка С.П., Кушхов А.Р., Демченкова Д.Н., Курочка А.С.

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

ИздательствоМИСиС

Тип изданияпрактикум

Год издания2007

Читать online Скачать приложение

Содержание

Лабораторная работа № 1. Нанесение пленок магнетронным распылением мишеней +

Лабораторная работа № 2. Формирование металлических пленок методом катодного распыления +

Лабораторная работа № 3. Исследование закономерностей электронной эмиссии при ионно-лучевом травлении наноразмерных гетероструктур +

Лабораторная работа № 4. Исследование распределения толщины пленок по поверхности подложки и их структурных параметров при ионном распылении мишеней с помощью источника Кауфмана +

Лабораторная работа №5. Исследование угловой зависимости скорости ионно-лучевого распыления мишени и травления поверхности подложек +

Лабораторная работа 6. Электроискровое нанесение покрытий +

Лабораторная работа 7. Плазмохимическое травление диэлектрических пленок +

Библиографический список

Скопировать биб. запись clipboard icon

Для каталогаКузнецов, Г. Д. Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы : Лаб. практикум / Г. Д. Кузнецов, С. П. Курочка, А. Р. Кушхов и др. - Москва : МИСиС, 2007. - 141 с. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/Misis_296.html (дата обращения: 03.12.2024). - Режим доступа : по подписке.

АннотацияЛабораторный практикум выполняется по курсам "Основы высоких технологий", "Процессы микро- и нанотехнологии" и "Микротехнология слоистых материалов и покрытий". <br>В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.<br> Практикум предназначен для студентов и магистров, обучающихся по направлению "Электроника и наноэлектроника", специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника".

Загружено 2020-01-03

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

Содержание

Оглавление