АвторыКузнецов Г.Д.
Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом
ИздательствоМИСиС
Тип изданияучебно-методическое пособие
Год издания2005
Скопировать биб. запись
Для каталогаКузнецов, Г. Д. Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом : Учеб. -метод. пособие / Кузнецов Г. Д. - Москва : МИСиС, 2005. - 56 с. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/Misis_148.html (дата обращения: 31.12.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияВ данном пособии приводятся расчеты взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Обсуждаются закономерности упругих и неупругих потерь энергии ионом при взаимодействии с атомами и электронами твердого тела материалов электронной техники. Рассматриваются типовые источники ионов, применяемые в технологии электронной техники. Анализируются области проявления таких эффектов взаимодействия, как распыление, дефектообразование и внедрение ионов. <br>По всем рассматриваемым темам приводятся примеры практических расчетов и графические зависимости параметров взаимодействия ионов с полупроводниковыми и металлическими материалами.<br> Пособие соответствует программе курса "Основы высоких технологий".<br> Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 654100 (550700) и специальности 210104 (200100), при выполнении домашних заданий и решении задач на практических занятиях.