АвторыБублик В.Т., Щербачев К.Д.
Дифракционные методы изучения поверхностных слоев и приборных структур
ИздательствоМИСиС
Тип изданияпрактическое пособие
Год издания2001
Скопировать биб. запись
Для каталогаБублик, В. Т. Дифракционные методы изучения поверхностных слоев и приборных структур : учебное пособие / Бублик В. Т. , Щербачев К. Д. - Москва : МИСиС, 2001. - 100 с. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/Misis_047.html (дата обращения: 22.12.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияСодержание предлагаемого пособия соответствует лекционному курсу "Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур", читаемому в качестве спецкурса студентам специальности 071000 "Материаловедение и новые технологии". В нем кратко изложены теоретические основы дифракционных методов изучения структуры поверхности и основы дифрактометрии высокого разрешения, рассматриваемой в качестве основного инструментального метода. Показана связь деформаций в сложных многослойных структурах с измеряемыми рентгенодифрактометрическими методами характеристиками: средними деформациями, усредненными по толщине гетероструктуры, профилями деформации, кривизной. <br>Пособие по этой тематике издается впервые. Необходимость издания определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует.