АвторыВ.С. Камлюк, Д.В. Камлюк
Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники
ИздательствоРИПО
Тип изданияучебное пособие
Год издания2016
Скопировать биб. запись
Для каталогаКамлюк, В. С. Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники : учеб. пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк - Минск : РИПО, 2016. - 384 с. - ISBN 978-985-503-627-3. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9789855036273.html (дата обращения: 25.12.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияПредставлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элементы - аппаратные и программные интерфейсы, пути организации данной связи с целью снижения аппаратных интерфейсов. Отдельные главы посвящены надежности и техническому диагностированию, обслуживанию и ремонту мехатронных систем. Предназначено для учащихся учреждений среднего специального образования, обучающихся по специальности "Мехатроника" (специализация "Мехатроник 5-го разряда (радиоэлектронное производство)").