АвторыРодионов Ю.А.
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
ИздательствоИнфра-Инженерия
Тип изданияучебное пособие
Год издания2019
Скопировать биб. запись
Для каталогаРодионов, Ю. А. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике : учебное пособие / Родионов Ю. А. - Москва : Инфра-Инженерия, 2019. - 352 с. - ISBN 978-5-9729-0337-5. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785972903375.html (дата обращения: 26.12.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияРассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоев с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. <br>Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 "Электроника, радиотехника и системы связи", а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.