Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы)

АвторыГруздов В.В., Колковский Ю.В., Концевой Ю.А.

Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы)

ИздательствоТехносфера

Тип изданияучебное пособие

Год издания2017

Читать online Скачать приложение

Содержание

Лабораторная работа № 1. Измерение удельного сопротивления пластин, эпитаксиальных и металлизационных слоев четырехзондовым методом

Лабораторная работа № 2. Определение параметров структур "металл-диэлектрик-полупроводник" (МДП) по измерению высокочастотных вольт-фарадных характеристик

Лабораторная работа № 3. Определение параметров структур "металл-диэлектрик-полупроводник" (МДП) по измерению низкочастотных вольт-фарадных характеристик

Лабораторная работа № 4. Определение профиля распределения примесей по измерению вольт-фарадных характеристик диодов Шотки

Лабораторная работа № 5. Определение сопротивления, концентрации и подвижности двумерного электронного газа в полупроводниковых гетероструктурах методом Ван-дер-Пау

Лабораторная работа № 6. Контроль толщины кремния в КНС- и КНИ-структурах

Лабораторная работа № 7 Определение структурных дефектов в полупроводниковых материалах

Лабораторная работа № 8. Метод рентгеновской дифрактометрии

Лабораторная работа № 9. Метод растровой электронной микроскопии

Лабораторная работа № 10. Построение карт "желтой" фотолюминесценции гетероструктур AlGaN/GaN

Лабораторная работа № 11. Контроль полупроводниковых структур при помощи микроинтерферометра МИИ-4

Лабораторная работа № 12. Определение параметров диэлектрических покрытий методом эллипсометрии

Лабораторная работа № 13. Определение оптических констант металлических пленок методом эллипсометрии

Лабораторная работа № 14. Определение толщины тонких металлических пленок методом эллипсометрии

Лабораторная работа № 15. Определение структурных дефектов в пластинах SiC поляризационным методом

Скопировать биб. запись clipboard icon

Для каталогаГруздов, В. В. Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы) : учебное пособие / Груздов В. В. , Колковский Ю. В. , Концевой Ю. А. - Москва : Техносфера, 2017. - 96 с. - ISBN 978-5-94836-471-1. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785948364711.html (дата обращения: 24.11.2024). - Режим доступа : по подписке.

АннотацияМетодические указания содержат описание лабораторных работ по курсу "Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники". В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники. Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.

Загружено 2019-01-15

Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы)

Содержание

Оглавление