АвторыСветличный А. М.
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
ИздательствоЮФУ
Тип изданияучебное пособие
Год издания2017
Скопировать биб. запись
Для каталогаСветличный, А. М. Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / Светличный А. М. - Ростов н/Д : Изд-во ЮФУ, 2017. - 104 с. - ISBN 978-5-9275-2395-5. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785927523955.html (дата обращения: 23.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияВ пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно- металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 -Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе "Лучевые процессы нанотехнологии".