АвторыВ.Т. Бублик, К.Д. Щербачев, М.И. Воронова, А.М. Мильвидский
Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур: ионная имплантация
ИздательствоМИСиС
Тип изданияучебное пособие
Год издания2013
Скопировать биб. запись
Для каталогаБублик, В. Т. Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур : ионная имплантация / В. Т. Бублик, К. Д. Щербачев, М. И. Воронова, А. М. Мильвидский - Москва : МИСиС, 2013. - 67 с. - ISBN 978-5-87623-695-1. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785876236951.html (дата обращения: 22.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияВ пособии кратко изложены теоретические основы дифракционных методов изучения структуры поверхности и основы дифрактометрии высокого разрешения, рассмотренной в качестве основного инструментального метода. Содержание пособия соответствует лекционному курсу "Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур", предназначенному для подготовки магистров и бакалавров по направлению 150100 "Материаловедение и технологии материалов", а также по направлению подготовки аспирантов 01.04.10 "Физика полупроводников". Необходимость издания пособия определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 150100 "Материаловедение и технологии материалов", по специальности 150601 "Материаловедение и технология новых материалов".