АвторыВеличко А.А.
Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур
ИздательствоНовосибирский ГТУ
Тип изданияучебное пособие
Год издания2014
Скопировать биб. запись
Для каталогаВеличко, А. А. Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур : учеб. пособие / Величко А. А. - Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2014. - 227 с. - ISBN 978-5-7782-2534-3. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778225343.html (дата обращения: 22.12.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияУчебное пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов электронной спектроскопии, микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных материалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению "Нанотехнологии и микросистемная техника" для дисциплин "Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем", "Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов", "Методы диагностики и анализа микро- и наносистем" и студентов, обучающихся по направлению "Микроэлектроника и наноэлектроника" для дисциплины "Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур".