АвторыБеркин А.Б., Василевский А.И.
Физические основы вакуумной техники
ИздательствоНовосибирский ГТУ
Тип изданияучебное пособие
Год издания2014
Скопировать биб. запись
Для каталогаБеркин, А. Б. Физические основы вакуумной техники : учеб. пособие / Беркин А. Б. , Василевский А. И. - Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2014. - 84 с. - ISBN 978-5-7782-2424-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778224247.html (дата обращения: 13.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияРассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 "Электроника и наноэлектроника". Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.