АвторыФилимонова Н.И.
Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондовая микроскопия
ИздательствоНовосибирский ГТУ
Тип изданияучебное пособие
Год издания2013
Скопировать биб. запись
Для каталогаФилимонова, Н. И. Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур : сканирующая зондовая микроскопия : учеб. пособие / Филимонова Н. И. - Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2013. - 134 с. - ISBN 978-5-7782-2158-1. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778221581.html (дата обращения: 28.12.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияПособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов сканирующей зондовой микроскопии. Рассмотрены вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 222900 "Нанотехнологии и микросистемная техника" для дисциплин "Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем", "Экспериментальные методы исследования и метрология", "Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов", "Методы диагностики и анализа микро- и наносистем", и студентов, обучающихся по направлению 210100 "Микроэлектроника и наноэлектроника" для дисциплины "Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур".