АвторыС.П. Бычков, В.П. Михайлов, Ю.В. Панфилов, Ю.Б. Цветков
Физические основы микро- и нанотехнологий
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Тип изданияучебное пособие
Год издания2009
Скопировать биб. запись
Для каталогаБычков, С. П. Физические основы микро- и нанотехнологий : учебное пособие / С. П. Бычков, В. П. Михайлов, Ю. В. Панфилов, Ю. Б. Цветков; Под ред. Ю. Б. Цветкова. - Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009. - 176 с. - ISBN 978-5-7038-3319-3. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785703833193.html (дата обращения: 27.12.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияДаны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности "Электронное машиностроение".