Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий
Глава 5. Моделирование процесса оптимизации размера зерна и удельного сопротивления пленки поликристаллического кремния
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
Введение
Глава 1. Процессы молекулярно-лучевой эпитаксии
+
Глава 2. Методы контроля в установках молекулярно-лучевой эпитаксии
+
Глава 3. Исследование релаксации напряжений при гетероэпитаксии
+
Глава 4. Моделирование процесса получения пленок поликристаллического кремния осаждением из газовой фазы
+
Глава 5. Моделирование процесса оптимизации размера зерна и удельного сопротивления пленки поликристаллического кремния
-
5.1. Структура пленок поликремния
5.2. Диффузионная теория роста зерна поликремния при термообработке
5.3. Расчет концентраций вакансий
5.4. Эффекты высокого уровня легирования
Рекомендуемая литература
Глава 6. Подготовка подложек (эвтектическая композиция InSb+MnSb) для жидкофазной эпитаксии гетероструктуры ферромагнетик - полупроводник (InSb)
+
Приложение для выполнения лабораторных работ
+
Данный блок поддерживает скрол*