Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Современное технологическое оборудование для микроэлектроники
ГЛАВА 1. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
ПРИНЯТЫЕ СОКРАЩЕНИЯ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ
-
1.1. Технологическая схема изготовления фотошаблонов
1.2. Генератор изображений лазерный многоканальный ЭМ-5289
1.3. Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-6329
1.4. Установка лазерного устранения дефектов шаблонов ЭМ-5001
1.5. Фотоповторитель ЭМ-5062М
1.6. Установка контактного размножения металлизированных и эмульсионных фотошаблонов ЭМ-583
1.7. Установка отмывки шаблонов УОФ 153А (ЩЦМ3.189.001)
ГЛАВА 2. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ
+
ГЛАВА 3. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПЛАСТИН В ПЛАЗМЕ
+
ГЛАВА 4. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ СЛОЕВ
+
ГЛАВА 5. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ СБОРКИ И ЗАКЛЮЧИТЕЛЬНЫХ ОПЕРАЦИЙ ПРОИЗВОДСТВА ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
+
ЛИТЕРАТУРА
Данный блок поддерживает скрол*