Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Нанометрология
ГЛАВА 3. НЕСТАБИЛЬНОСТЬ, ТОЧНОСТЬ И НЕОПРЕДЕЛЕННОСТЬ НАНОИЗМЕРЕНИЙ
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. СТАНОВЛЕНИЕ НАНОИНДУСТРИИ И КОНЦЕПЦИЯ РАЗВИТИЯ НАНОМЕТРОЛОГИИ
+
ГЛАВА 2. ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ НАНОМЕТРОЛОГИИ
+
ГЛАВА 3. НЕСТАБИЛЬНОСТЬ, ТОЧНОСТЬ И НЕОПРЕДЕЛЕННОСТЬ НАНОИЗМЕРЕНИЙ
-
3.1. Основные положения
3.2. Измерение линейных размеров рельефных наноструктур
3.3. Точность измерения линейных наноразмеров
3.4. Погрешности измерения длины волны и частоты лазера
3.5. Нестабильность мощности излучения лазеров
3.6. Разрешающая способность растрового электронного микроскопа
3.7. Оценка расходимости лазерного излучения
3.8. Особенности наноизмерений в АСМ-режиме
3.9. Введение концепции неопределенности
3.10. Погрешность и неопределенность
3.11. Этапы оценивания погрешностей и неопределенностей
3.12. Пример вычисления погрешности эталона единицы длины (по данным ВНИИМ)
3.13. Определение содержания элементов методами атомной спектроскопии по ГОСТ Р 51309-99
3.14. Оценка неопределенности значений стандартных образцов
ГЛАВА 4. ПОВЕРКА И КАЛИБРОВКА В СФЕРЕ НАНОМЕТРОЛОГИИ
+
ГЛАВА 5. ОРГАНИЗАЦИОННЫЕ ОСНОВЫ НАНОМЕТРОЛОГИИ
+
ПРИЛОЖЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА
Данный блок поддерживает скрол*