Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Физико-технологические основы макро-, микро- и наноэлектроники
Глава 4. Управление диффузионными и кинетическими процессами в технологических задачах электроники
Для продолжения работы требуется
Registration
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
Предисловие
Введение
Глава 1. Общие принципы термодинамического управления равновесными и неравновесными процессами
+
Глава 2. Управление фазовыми и химическими равновесиями в технологических задачах электроники
+
Глава 3. Управление структурными равновесиями и дефектообразованием в кристаллах
+
Глава 4. Управление диффузионными и кинетическими процессами в технологических задачах электроники
-
4.1. Механизм кинетики химических реакций. Уравнение Аррениуса
4.2. Механизмы диффузии атомов в твердом теле
4.3. Законы Фика. Начальные и граничные условия в задачах диффузии
4.4. Диффузионные задачи на удаление вещества из твердого тела
4.5. Принципы вакуумного обезгаживания материалов
4.6. Роль диффузии в газопроницаемости вакуумных оболочек
4.7. Диффузионные задачи на введение вещества в твердое тело
4.8. Принципы диффузионного легирования полупроводников
4.9. Диффузионная и химическая кинетика гетерогенных процессов
4.10. Маскирующие свойства слоев двуокиси кремния
4.11. Кинетика термического окисления кремния
4.12. Кинетика химического травления полупроводников
4.13. Принципы выращивания монокристаллических слоев методами эпитаксии
4.14. Кинетика химического транспорта веществ в проточных системах
4.15. Кинетика химического транспорта веществ в сэндвич-системах
4.16. Кинетика химического транспорта веществ при реактивном распылении
4.17. Кинетика процессов в электрохимических системах
4.18. Контрольные вопросы
Глава 5. Управление свойствами поверхности, межфазными взаимодействиями и формированием нанообъектов
+
Приложение A. Термодинамические расчеты в технологических задачах электроники
+
Приложение Б. Справочный материал
+
Литература, рекомендуемая для углубленного изучения
Предметный указатель
Данный блок поддерживает скрол*