Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
Глава 7. Плазмохимический СВЧ-синтез низкоразмерных гетероструктур на основе кремния и его соединений
Поставить закладку
§7.1.Современные технологии формирования спонтанно упорядоченных наноструктур и нанокомпозитов
Для продолжения работы требуется
Registration
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
Введение
Глава 1. Физико-технические основы создания СВЧ плазменных устройств c электронным циклотронным резонансом
+
Глава 2. Взаимодействие электромагнитных волн с плазмой во внешнем магнитном поле
+
Глава 3. Диффузионная модель СВЧ газового разряда и ее применение в технологических процессах
+
Глава 4. Характеристики СВЧ-плазмы в магнитном поле
+
Глава 5. Сверхвысокочастотное плазмохимическое травление
+
Глава 6. Сверхвысокочастотное плазмохимическое травление кремниевых материалов
+
Глава 7. Плазмохимический СВЧ-синтез низкоразмерных гетероструктур на основе кремния и его соединений
-
§7.1.Современные технологии формирования спонтанно упорядоченных наноструктур и нанокомпозитов
§7.2.Размеры и плотность островков: возможности управления
§7.3.Самоорганизация кремниевых нанокристаллитов в СВЧ-плазме
§7.4.Синтез аморфного гидрогенизированного кремния и его соединений
§7.5.Конформные пленочные покрытия диоксида кремния
Глава 8. Плазмохимический СВЧ-синтез низкоразмерных углеродных структур различных аллотропных модификаций
+
Список литературы
Данный блок поддерживает скрол*