2. Математическое моделирование процессов электронной литографии

Поставить закладку

Если Вы наш подписчик,то для того чтобы скопировать текст этой страницы в свой конспект,
используйте просмотр в виде pdf. Вам доступно 3 стр. из этой главы.

Для продолжения работы требуется Registration

Предыдущая страница

Следующая страница

1. Математическое моделирование фотолитографических процессов при создании субмикронных структур с нанометровым размером +

2. Математическое моделирование процессов электронной литографии -

2.1. Теория электронной эмиссии

2.2. Моделирование эффекта близости при электронной литографии

Библиографический список

Данный блок поддерживает скрол*

2. Математическое моделирование процессов электронной литографии

Table of contents