4. Моделирование процесса получения пленок поликристаллического кремния осаждением из газовой фазы

Поставить закладку

Если Вы наш подписчик,то для того чтобы скопировать текст этой страницы в свой конспект,
используйте просмотр в виде pdf. Вам доступно 2 стр. из этой главы.

Для продолжения работы требуется Registration

Предыдущая страница

Следующая страница

Предисловие

1. Процессы молекулярно-лучевой эпитаксии

2. Методы контроля в установках молекулярно-лучевой эпитаксии

3. Исследование релаксации напряжений при гетероэпитаксии

4. Моделирование процесса получения пленок поликристаллического кремния осаждением из газовой фазы

5. Моделирование процесса оптимизации размера зерна и удельного сопротивления пленки поликристаллического кремния

Приложение для выполнения лабораторных работ

Данный блок поддерживает скрол*

4. Моделирование процесса получения пленок поликристаллического кремния осаждением из газовой фазы

Table of contents