Список литературы

Поставить закладку

Если Вы наш подписчик,то для того чтобы скопировать текст этой страницы в свой конспект,
используйте просмотр в виде pdf. Вам доступно 20 стр. из этой главы.

Для продолжения работы требуется Registration

Предыдущая страница

Следующая страница

Введение

1. Динамические свойства элементов МЭМС

2. Эффекты масштабирования в МЭМС

3. Демпфирование колебаний в МЭМС

4. Электростатические преобразователи

5. Электромагнитные преобразователи

6. Пьезоэлектрические преобразователи

Список литературы

Приложение

Данный блок поддерживает скрол*

Список литературы

Table of contents