Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Процессы и оборудование микротехнологии: Модули 1 и 2
Модуль 2. Изготовление монокристаллических кремниевых пластин
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
Предисловие
Введение
Модуль 1. Технологический анализ изделий микротехнологии
+
Модуль 2. Изготовление монокристаллических кремниевых пластин
-
2.1. Кремниевые пластины как объект производства
2.1.1. Электрические параметры
2.1.2. Геометрические параметры
2.2. Получение монокристаллического кремния
2.2.1. Этапы производства кремния
2.2.2. Выращивание монокристаллов
2.2.3. Обработка кремниевых слитков и пластин
2.3. Термическое оксидирование кремния
2.3.1. Свойства диоксида кремния
2.3.2. Структура диоксида кремния
2.3.3. Получение диоксида кремния термическим оксидированием
2.3.4. Стадии оксидирования
2.3.5. Модель роста оксида Дила - Гроува (Deal - Grove)
2.3.6. Промышленная реализация термического оксидирования
Заключение
Задания для самостоятельной работы и самоконтроля
Ресурсы сети Интернет к модулю 2
Данный блок поддерживает скрол*