Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Расчет, конструирование и изготовление дифракционных и голограммных оптических элементов
Глава 4. Изготовление дифракционных и голограммных оптических элементов
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
Список сокращений
Введение
Глава 1. Разновидности дифракционных и голограммных оптических элементов
Глава 2. Расчет дифракционных и голограммных оптических элементов
Глава 3. Конструирование дифракционных и голограммных оптических элементов
Глава 4. Изготовление дифракционных и голограммных оптических элементов
-
4.1. Технологические процессы изготовления ДГОЭ
4.2. Нанесение металлорезиста
4.3. Нанесение фото- и электронорезистов
4.4. Электронно-лучевая литография
4.5. Изготовление фотошаблонов
4.6. Экспонирование фото- и электронорезистов
4.7. Проявление фото- и электронорезистов
4.8. Травление металлорезиста
4.9. Сухое травление оптического стекла
4.9.1. Ионная бомбардировка поверхности твердого тела
4.9.2. Обработка оптических стекол ионными пучками
4.9.3. Ионно-плазменные методы обработки оптических материалов
4.9.4. Установки с индуктивно связанной плазмой
4.9.5. Установка ПХТ Caroline 15 PE
Глава 5. Теория и практика плазмохимического травления для изготовления дифракционных и голограммных оптических элементов
+
Заключение
Литература
Данный блок поддерживает скрол*