Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Ионно-плазменная обработка материалов: Курс лекций
Тема 3. Ионный синтез и ионная кристаллизация
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
Тема 1. Вакуум-плазменные процессы травления материалов
+
Тема 2. Вакуум-плазменное нанесение тонких пленок
+
Тема 3. Ионный синтез и ионная кристаллизация
-
3.1. Радиационно-стимулированная диффузия
3.2. Ионно-активируемый синтез тонких пленок
3.3. Особенности имплантации ионов для синтеза соединений
3.4. Характеристика ионно-плазменных методов синтеза соединений
3.5. Влияние параметров ионно-лучевого синтеза на формирование скрытых слоев CoSi2 в кремнии
Тема 4. Возможности ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники
+
Заключение
Библиографический список
Данный блок поддерживает скрол*