Поиск

Закладки

Озвучивание недоступно

Озвучить книгу

Изменить режим чтения

Изменить размер шрифта

Оглавление

Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Методики определения параметров вакуумных систем

Лабораторная работа 5. Определение состава остаточных газов в вакуумных установках с помощью времяпролетного масс-спектрометрического газоанализатора МСХ-3а

Предыдущая страница

Следующая страница

Table of contents

Введение

Лабораторная работа 1. Методы очистки и контроля качества газов, применяемых в технологических процессах микроэлектроники +

Лабораторная работа 2. Определение скорости откачки вакуумной системы насосами предварительного и высокого вакуума +

Лабораторная работа 3. Обнаружение мест натекания в вакуумных системах с помощью гелиевого течеискателя +

Лабораторная работа 4. Измерение предельного вакуума и быстроты действия турбомолекулярного насоса +

Лабораторная работа 5. Определение состава остаточных газов в вакуумных установках с помощью времяпролетного масс-спектрометрического газоанализатора МСХ-3а -

5.1. Теоретическое введение

5.2. Описание оборудования

5.3. Содержание работы

5.4. Порядок выполнения работы

5.5. Оформление результатов работы

5.6. Контрольные вопросы

Библиографический список

Данный блок поддерживает скрол*