Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Методики определения параметров вакуумных систем
Лабораторная работа 5. Определение состава остаточных газов в вакуумных установках с помощью времяпролетного масс-спектрометрического газоанализатора МСХ-3а
Поставить закладку
5.1. Теоретическое введение
Если Вы наш подписчик,то для того чтобы скопировать текст этой страницы в свой конспект,
используйте
просмотр в виде pdf
. Вам доступно 3 стр. из этой главы.
Для продолжения работы требуется
Registration
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
Введение
Лабораторная работа 1. Методы очистки и контроля качества газов, применяемых в технологических процессах микроэлектроники
+
Лабораторная работа 2. Определение скорости откачки вакуумной системы насосами предварительного и высокого вакуума
+
Лабораторная работа 3. Обнаружение мест натекания в вакуумных системах с помощью гелиевого течеискателя
+
Лабораторная работа 4. Измерение предельного вакуума и быстроты действия турбомолекулярного насоса
+
Лабораторная работа 5. Определение состава остаточных газов в вакуумных установках с помощью времяпролетного масс-спектрометрического газоанализатора МСХ-3а
-
5.1. Теоретическое введение
5.2. Описание оборудования
5.3. Содержание работы
5.4. Порядок выполнения работы
5.5. Оформление результатов работы
5.6. Контрольные вопросы
Библиографический список
Данный блок поддерживает скрол*