Основы конструирования вакуумных плазменных установок
АвторыМ.К. Марахтанов, Д.В. Духопельников, Е.В. Воробьев ; под ред. А.Б. Ивашкина
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Год издания2014
Рассмотрены основные понятия вакуумной техники, а также характеристики вакуумных насосов, необходимые для проектирования и расчета вакуумных плазменных установок. Даны примеры определения параметров потоков газа и плазмы в вакууме. Приведены характеристики ряда промышленных и лабораторных установок, предназначенных для ионно-плазменной обработки изделий. Для студентов старших курсов технических университетов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием вакуумно-плазменных систем. ...
Downloaded
2015-03-27